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テーマ：「メタン及び水素に対するモリブデンのゲッター作用に関する研究」 |
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分野：極高真空化技術 |
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所属：近畿大学、理工学部、原子炉工学科 |
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目的： |
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極高真空状態（7.0×10−11Pa＝5.3 ×10-13Torr）を得るための排気方法を研究。 |
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概略： |
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高融点遷移金属であるMoフィラメントに通電加熱することで、微量水素の吸着排気が可能となる。また水素とメタンの混合雰囲気においては、Ti、WおよびMoフィラメントの併用が有効であることを解明。 |
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テーマ：「酸発生剤含有カバー膜を用いた化学増幅系レジストプロセス」 |
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分野：半導体製造プロセス技術 |
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所属：沖電気工業株式会社 |
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目的： |
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次世代半導体製造プロセス技術のひとつである「電子ビームリソグラフィ」のレジストプロセス技術の開発。 |
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概略： |
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化学増幅系レジストは、高感度、高解像度を有する優れた材料であるが、雰囲気中の塩基物質に起因する寸法変化（PED：Post Exposure
Delay）およびチャージアップによる寸法変化の問題がある。酸発生剤を含有する特殊導電性ポリマーを開発し、レジスト上に酸発生剤含有導電性ポリマー（340Å）を形成することで、PEDとチャージアップ防止を同時に抑制することが可能となる。 |
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テーマ：「高硬度型析出硬化系ステンレスの開発」 |
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分野：ステンレス系新素材 |
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概略： |
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C（炭素）による高硬度化メカニズムでは、高硬度と耐食性は相反する特性であるが、CのSi（珪素）による代替と、低炭素マルテンサイトの細粒化、微細で高硬度を有するSi系金属間化合物を析出させることで、HRC56〜58の高硬度とSUS630相当の耐食性を実現（シリコロイXVI鋼）。 |
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テーマ：「析出硬化系高ケイ素ステンレス鋼のトライボロジー特性とその応用」 |
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分野：ステンレス系新素材 |
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概略： |
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析出硬化系高ケイ素ステンレス鋼は、高硬度、耐食性、耐摩耗性、耐焼付き性、時効硬化熱処理特性をはじめ様々な特徴有し、トータルバランスとプロセス技術の自由度に優れる。用途に合わせた熱処理技術、プロセス技術、相手材、表面処理技術を選択・設計することで、特に超精密分野での高機能材あるいは基材のひとつとしての用途展開が期待される。 |
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トライボロジスト（社団法人日本トライボロジスト学会）、第52巻、第2号（2007年2月15日））に技術資料が掲載されました。ご興味のある方はご一報下さい。技術資料をご送付します。 |
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